EQUIPMENTS 製造設備

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薄膜コーティング ガラスモールド

薄膜コーティング

成膜設備

薄膜の種類や製造数に応じて、最適な設備で成膜します。試作も大量生産もお任せください。
連続式蒸着装置
3inch多層膜:50,000枚/月産
5台
バッチ式蒸着装置
3inch多層膜:5,000枚/月産
6台
スパッタリング装置
3inch多層膜:15,000枚/月産
1台

洗浄設備

成膜の前後に清潔な水と溶剤で丁寧に洗浄し、製品のホコリや汚れを落とします。
7槽式超音波自動洗浄機(超純水)
1台
9槽式超音波自動洗浄機(IPAベーパー)
1台
18槽式超音波自動洗浄機(IPAベーパー)
1台

計測・試験機器

製品の品質を守るさまざまな計測・試験機器です。あらゆる機能を試験し、より高度な薄膜製造を目指して日々研究開発に取り組んでいます。
日立分光光度計 U-4100
2台
オリンパス反射率測定機 USPM-RU
2台
環境試験器
2台
抵抗率計 ロレスター
1台
恒温器
9台
金属顕微鏡
1台
デジタルマイクロスコープ
1台
原子間力顕微鏡
1台