酸化インジウムと酸化スズの混合物であるITO(Indium Tin Oxide)薄膜は、透明でありながら電気伝導性を有する特徴をもっております。その応用製品は、液晶ディスプレイ、銀行ATM、ゲーム機、スマートフォン等のタッチパネルなど、身近なところにあります。私たちは、安定したITOコーティングが難しいとされる、プラスティック基板への成膜技術を開発し、携帯電話、ゲーム機、スマートフォンのタッチパネル基板へコーティングしております。またITO物質は屈折率が約2.1であるため、タッチパネル基板などにコーティングしますと、光の干渉作用で反射率が上がり、視認性が低下します。私たちはこの問題において、膜を多層化させる事により、反射防止効果を併せ持つ透明導電膜を成膜することができます。